ILC连续式磁控溅射镀膜生产线

  • 加工定制：是
  • 品牌：
  • 类型：
  • 提供加工定制：
  • 型号：ILC
  • 别名：
  • 适用范围：玻璃薄板、幕墙玻璃、高反射材料、彩色面板
  • 炉膛最高温度：
  • 工作温度：
  • 装载量：
  • 工作室尺寸：
  • 外形尺寸：
  • 规格：

  
vakia-ilc-d系列连续式汽车反光镜磁控溅射镀膜生产线
总体设计如下：进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射镀膜室、出口传送室、出口缓冲室、出口室。每个溅射镀膜室最多可以同时安装四个阴极；高真空室采用插板阀隔离，通过改变气氛隔离效果可以实现各种汽车反光镜膜。
生产线特点：
（1）      设备类型：立式连续磁控溅射镀膜线
（2）      膜层均匀性：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤5%
（3）      阴极结构设计：采用中频孪生旋转阴极，靶规格视产品而定
（4）      传动模式：采用小车传动方式。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节
（5）      镀膜温度控制：可按客户要求采用不同加热方式，控温稳定度为
（6）      控制系统：采用组态软件与plc的结合模式，实现人机对话，对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。
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