ILC连续式磁控溅射镀膜生产线

  • 加工定制:是
  • 品牌:
  • 类型:
  • 提供加工定制:
  • 型号:ILC
  • 别名:
  • 适用范围:玻璃薄板、幕墙玻璃、高反射材料、彩色面板
  • 炉膛最高温度:
  • 工作温度:
  • 装载量:
  • 工作室尺寸:
  • 外形尺寸:
  • 规格:

  
vakia-ilc-d系列连续式汽车反光镜磁控溅射镀膜生产线
总体设计如下:进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射镀膜室、出口传送室、出口缓冲室、出口室。每个溅射镀膜室最多可以同时安装四个阴极;高真空室采用插板阀隔离,通过改变气氛隔离效果可以实现各种汽车反光镜膜。
生产线特点:
(1)      设备类型:立式连续磁控溅射镀膜线
(2)      膜层均匀性:在有效沉积区域内,膜层厚度均匀性≤5%
(3)      阴极结构设计:采用中频孪生旋转阴极,靶规格视产品而定
(4)      传动模式:采用小车传动方式。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节
(5)      镀膜温度控制:可按客户要求采用不同加热方式,控温稳定度为
(6)      控制系统:采用组态软件与plc的结合模式,实现人机对话,对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。
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