供应全自动硅片清洗机


全自动硅片清洗机(非标设备) (1) 全自动硅片清洗机设备用于2″—8″硅片的规模生产清洗。 (2) 全自动硅片清洗机采用德国进口磁白色pp板焊接而成,本机每槽可同时清洗2个花篮。 (3) 本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。 ⑷ 工艺过程全自动,机械手在槽间转换靠plc来控制,美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。 (5)全自动硅片清洗机除装片和取片需人工外,其余工艺动作均由机械手来实现,适用于连续批量生产。 (6) 全自动硅片清洗机内设高效过滤器,满足净化工作区工作(1000级~100级,10级为特级)。 (7) 电控部分:人机界面为触摸屏,有安全保护故障代码,故障报警,工艺时序号,方便操作、易于维护。

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