浙江实验室气敏低温真空探针台

加工定制是	品牌科探仪器设备
型号KT	产品适用范围广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成
测量范围详询	电源详询
工作电压220V	外形尺寸详询定制
重量98kg

   
   该探针台的承片台x/y/z三个方向均可在真空环境下调节，其中x方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
    探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
实验腔体
 
腔体材质
 
304不锈钢
 
上盖开启
 
铰链侧开
 
内腔体尺寸
 
φ140x180
 
加热台材质
 
304不锈钢
 
观察窗尺寸
 
φ75
 
加热台尺寸
 
50x50
 
加热台温度
 
室温-350℃可调
 
加热台温控误差
 
±1℃
 
真空度
 
机械泵≤10pa   分子泵≤10-3pa
 
真空抽气口
 
kf25
 
气体进气口
 
3mm-6mm卡套接头
 
进气阀门
 
高精密针阀
 
抽气阀门
 
kf25真空挡板阀
 
压力表
 
机械压力表 -0.1-0.15mpa
 
信号电极
 
4个
 
探针数量
 
4个
 
探针材质
 
φ1.5钨针   其他材质可选
 
探针移动平台
 
x轴移动行程
 
30mm    ±15mm
 
x轴控制精度
 
≤0.1mm 
 
y轴移动行程
 
13mm    ±6.5mm
 
y轴控制精度
 
≤0.05mm 
 
z轴移动行程
 
13mm   ±6.5mm
 
z轴控制精度
 
≤0.05mm 
 
信号电极
 
电极芯
 
1芯
 
电极引出接头
 
bnc母头
 
电极引出线
 
铜网信号屏蔽线
 
bnc引出接头
 
x4
 
额定电流
 
≤5a
 
额定电压
 
≤220v
 
电极芯直径
 
φ1mm
 
接触电阻
 
≤5mω
 
绝缘电阻
 
≥1000 mω
 
外壳接地
 
是
 
电子显微镜
 
电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通
 
联系电话：0371-60308298
联系人：李工
qq:760625767

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郑州科探仪器设备有限公司
李女士
15286826848
河南 郑州 中原区 河南省郑州市高新技术开发区长椿路11号，河南省国家大学科技园C1F2楼（郑州科探仪器设备有限公司）

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